Veröffentlichungen

Kinetische Simulation der Dynamik gesputterten Aluminiums in kapazitiv gekoppelten Mehrfrequenzplasmen

2015 - Jan Trieschmann, Stefan Ries, Stefan Bienholz, Nikita Bibinov, Peter Awakowicz, Ralf Peter Brinkmann, Thomas Mussenbrock

DPG Früh­jahrs­ta­gung 2015, Bochum, Ger­ma­ny, 2-5 March
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